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VTC-100PAH真空旋轉涂膜機

簡要描述:VTC-100PAH真空旋轉涂膜機適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉涂膜機是一款高性能精密勻膠機,采用了優良的設計理念,配合精密的運動控制系統,可以實現高精度、高均勻度的勻膠操作。設備腔體采用聚丙烯材質,具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空,工作時利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連,能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-02-13
  • 訪  問  量:1266

詳細介紹

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產品簡介VTC-100PAH真空旋轉涂膜機

VTC-100PAH真空旋轉涂膜機適用于半導體工藝、晶體、光盤、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉涂膜機是一款高性能精密勻膠機,采用了優良的設計理念,配合精密的運動控制系統,可以實現高精度、高均勻度的勻膠操作。設備腔體采用聚丙烯材質,具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點。本機腔體不可抽真空,工作時利用真空吸盤及氣路管線與外部真空泵相連,能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤上,此方式操作簡便、樣件取放自如,吸盤真空度可達到﹣0.08MPa。旋轉主軸采用高速直流無刷電機,噪音低、振動小、運行更加平穩、可靠性高、適應性強、維修與保養簡單,電機啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優點,主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

技術參數VTC-100PAH真空旋轉涂膜機

產品名稱

VTC-100PAH真空旋轉涂膜機

產品型號

VTC-100PAH

安裝使用條件

1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露) 溫度:0-45℃。

2、設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體。 水源 無此需求

3、電源:AC100-240V 50/60Hz 國標三極插座 10A 必須有良好接地

4、氣源:真空負壓(真空泵):抽氣流量不小于 70L/M

5、工作臺:建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺為佳)

6、通風裝置:無特殊要求

技術參數

1、設備供電:DC24V 標配適配器:IN AC100-240V 50/60Hz  OUT DC24V 15A

2、總功率:150W(不含外接真空泵)

3、主機腔體(材質):聚丙烯+亞格力

4、載樣盤(吸盤):2英寸、 4英寸各一個

5、運行程序:包含16個運行階段

6、涂膜轉速:1500-20000rpm有效(遞增量為:100rpm為單位)

7、增加速率設置范圍:100 rpm/s—6000 rpm/s

8、減速停車速率范圍:100 rpm/s—3000 rpm/s

9、時間設定范圍:1-99s(設定速度范圍:1500至10000rpm);

1-60s(設定速度范圍:大于10000至20000rpm)

10、真空接口:快插接頭,采用φ8 PU管連接

11、操作控制方式:7寸觸摸屏(人機界面)

產品規格

重量:12kg

外形尺寸:250×340×320mm

備注

設備隨機標配“電源適配器",其規格參數為:IN:AC100-240V 50/60Hz OUT:DC24V 15A,設備實際供電以產品后部標牌參數為準。

標準配件VTC-100PAH真空旋轉涂膜機

序號名稱數量圖片鏈接
1真空吸盤(含O型圈)(2英寸和4英寸)2個VTC-100PAH真空旋轉涂膜機
2滴液器1個
3無油真空泵1個
4適配器24V/15A1個

可選配件VTC-100PAH真空旋轉涂膜機

序號名稱功能類別圖片鏈接
1其它尺寸的真空吸盤(可選)
2國產移液槍(可選)
3進口移液槍(可選)



 

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